La tecnología MEMS integra elementos mecánicos, sensores, actuadores y componentes electrónicos situados en un sustrato de silicio. MEMS son las siglas de Micro Electro-Mechanical Systems.
Definición
Los sistemas Micro(MEMS) son una tecnología que utiliza componentes mecánicos y electromecánicos miniaturizados fabricados a escala de oblea. Esto permite integrar la tecnología MEMS en chips, que a su vez pueden integrarse en circuitos impresos, de forma similar a otros componentes electrónicos.
Los dispositivos constan de elementos electromecánicos (tanto móviles como fijos) controlados por microelectrónica integrada.
Los componentes básicos de los MEMS son estructuras miniaturizadas, sensores, actuadores y microelectrónica. Los microsensores y microactuadores se clasifican como transductores, dispositivos que convierten señales mecánicas en señales eléctricas.
Aplicaciones MEMS
Los MEMS han demostrado ser una tecnología clave para el desarrollo de sectores como el transporte, las telecomunicaciones y la sanidad. Los sensores de los sistemas Micro se utilizan ahora también ampliamente en aplicaciones categoría consumo, como teléfonos inteligentes y dispositivos de juego, pero existe también un amplio mercado de dispositivos MEMS de mayor calidad, desarrollados para aplicaciones de automoción, aeroespaciales y otras.
categoría sensor
La categoría del sensor representa la calidad del componente, que es un buen indicador de su fiabilidad. Es una escala que suele separarse en las siguientes categorías: Consumo, Industrial, Táctico, Navegación, Militar.
Cuanto más alta es categoría del sensor, más preciso es y mayor es su precio. Para los dispositivos inerciales, esta clasificación se basa en la deriva en g para los acelerómetros y en grados por segundo para los giroscopios.
categoría consumo frente a categoría industrial
Los sensores de categoría industrial y de consumo responden a necesidades diferentes. El principal punto fuerte de los sensores de categoría industrial es su fiabilidad, mientras que los sensores de categoría de consumo tienen un rango de medición más amplio por un precio inferior.
El rango del giroscopio indica la categoría del sensor. Normalmente los giroscopios y los acelerómetros son de la misma categoría.
